澤攸科技低溫液氮探針臺 LN-4H-06

產品介紹

低溫低溫液氮探針臺 LN-4H-06是澤攸科技研發的探針臺系統產品之一，該設備主要使用于樣品的非破壞性快速檢測，常應用在半導體、微電子、電子、機電、物理、化學、材料、光電、納米、微機電等領域。

應用領域

產品特征

1.真空腔體：真空度優于6×10-3Pa。降溫后優于6×10-4Pa。留有2個用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）；

2. 探針控制：標配4個探針臂。調節范圍50mm*50mm*30mm，調節精度優于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；

3. 顯微鏡模塊：連續變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率：0.58X~7X（使用1X附加物鏡時），視頻放大倍率約280倍。可選2X附加物鏡。分辨率優于2um。全高清數字攝像頭，帶同軸照明和環形照明，帶機械調焦和光學調焦；

4. 變溫樣品臺：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K。控溫穩定性優于±0.5K；

5. 可選配接入光纖，可將一根或幾根電學探針替換為光纖；

6. 系統直流漏電低于1pA。

7. 產品含進口分子泵機組、全量程真空規和智能溫控儀。

應用案例

1、室溫真空或者大氣環境下器件電性能測量

例：單層二硫化鎢場效應晶體管的IV曲線和轉移曲線

2、變溫IV性能測量

例：二硫化鎢/硅范德瓦爾斯異質結的變溫輸運研究

產品參數

X-Y軸行程定位精度：±0.01mm

探針調節精度：±0.01mm

測試直徑：6/8/12直徑

探針軸行程：110mm

探針XY行程：50mm

制冷方式：液氮制冷

腔體直徑：245mm

溫度下線：77K

顯微鏡倍率：0.58X-7X（使用1X附加物鏡時）

探針頻率：26GHz-100GHz（可選）