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超高真空微型光柵尺SMG26特點，體積小，結(jié)構(gòu)緊湊，適用于超高真空使用，良好的耐高溫性，最高可達(dá)100℃，SMG26系列光柵的柵距為256μm，下表為不同細(xì)分倍數(shù)下的允許速度值，精度高，絕對精度3μm（20℃）
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